Основой приборной базы ЦКП «КАМИКС» являются Атомно-Зондовые томографы.

Атомно-зондовый томограф - прибор, в котором реализованы современные достижения физики: времяпролетная масс-спектрометрия, примененная к каждому иону, испаренному импульсным воздействием короткой длительности; разработки позиционно-чувствительных детекторов частиц с наносекундным разрешением отдельных событий.

Атомно-зондовый томограф позволяет исследовать наномасштабные особенности сложных многокомпонентных материалов (сплавов, сталей, полупроводников, диэлектриков). Он позволяет получать трехмерное распределение атомов различных химических элементов в исследованном объеме. Пространственное разрешение - близкое к атомарному, а разрешение по массе позволяет различать большинство изотопов. Исследования проводятся при криогенных температурах (20-100 К) и высоком вакууме 10^-10 торр. 

В ЦКП «КАМИКС» имеется атомно-зондовый томограф ЕСОТАР (САМЕСА).

В настоящее время у данного прибора произведена модернизация вакуумной и криогенных систем, существенно доработана система обработки информации. Установка адаптирована для работы с радиоактивными образцами облученных корпусных сталей и проходит адаптацию для работы с облученными образцами материалов активной зоны. Исследования, проводимые на этом приборе в настоящее время, дают данные о наномасштабных изменениях корпусных сталей, необходимые для оценки остаточного ресурса действующих реакторов.

Также в 2014 году в ИТЭФ был разработан собственный прибор ПАЗЛ-3D - атомно-зондовый томограф с фемтосекундным лазерным испарением.

Данный прибор сочетает в себе современные узлы, обеспечивающие точность и объемы полученных данных на уровне современных коммерческих приборов такого типа. Отличительной особенностью данного прибора от ЕСОТАР является возможность исследовать помимо металлов полупроводники и диэлектрики, а также производить сбор данных со скоростью, в 100 раз большей.

Особенностью данных приборов является их непрерывная работа. Временные отключения (в том числе перебои питания) крайне нежелательны для высоковакуумной системы и, кроме того, требуют последующих восстановительных процедур в течение 7-10 дней.

Вспомогательное оборудование для работы:

1. Система приготовления образцов: Станок вырезной электроэрозионный (Производство ОАО "ЦНИТИ"~ ВЭСТ 230-3) для первичной резки образцов из произвольной заготовки, система электрохимического утонения для первичного утонения образцов, система электрохимической полировки образцов в капле.

2. Система контроля формы образцов: оптические микроскопы для первичного анализа формы и просвечивающий электронный микроскоп JEOL JEM 1200 ЕХ для итоговой аттестации формы образцов, загружаемых в атомно-зондовый томограф.

3. Система дозиметрического контроля при работе с облученными образцами. Имеется санитарно-эпидемиологическое заключение, разрешающую работу с источниками ионизирующего излучения.

4. Вспомогательные приборы центра, обеспечивающие дополнительную информацию об исследуемых материалах:

•      Временной позитронный аннигиляционный спектрометр - собран на основе блоков наносекундной электроники фирмы ORTEC. Спектрометр имеет временное разрешение 230 пс. Имеется возможность работы, как с твердыми образцами, так и с жидкостями. Позитронная спектроскопия особенно эффективна при изучении точечных дефектов вакансионного типа матрицы; распределения свободного объема в диэлектрических средах; ранних (пикосекундных) процессов радиолиза вещества.
•       Угловой позитронный аннигиляционный спектрометр - собственная разработка. Имеет угловое разрешение 0.4 мрад.
•       Сканирующий туннельный атомно-силовой микроскоп MultiMode NanoScope. Режимы работы: туннельный, контактная мода АРМ; тэйпинг мод АРМ; тэйпинг мод в жидкостной ячейке. Разрешение прибора вплоть до атомарного. Данный прибор позволяет исследовать наномасштабные особенности на поверхностях, исследовать нанометровые объекты, нанесенные на подложку.
•       Просвечивающий электронный микроскоп JEOL JEM 1200 ЕХ. Разрешение до 10 нм. Обеспечивает анализ структурно-фазового состояния материалов на микро и нано-масштабах. Используется для контроля образцов для атомно-зондового томографа, которые имеют жесткие ограничения по форме в нанометровом диапазоне. Позволяет получать предварительную информацию об объектах размерами более 10 нм, расположенных в объеме твердых тел.
•       Шлифовально-полировальный станок с регулируемой скоростью вращения LaboPol-5 
•       Установка для электрохимического травления TenuPol-5 - установка электролитического утонения образцов для электронной микроскопии со встроенной функцией сканирования параметров процесса и возможностью установки дополнительных параметров для новых материалов.
•       Профилометр модели 130 - предназначен для измерения 28 параметров шероховатости наружных и внутренних поверхностей и 4 параметров волнистости (пазы, отверстия) поверхностей, сечения которых в плоскости измерения представляют собой как прямые, так и изогнутые по радиусу линии (шарики, валы и т.д.), с измерением этого радиуса.
•       Сканирующий мульти-микроскоп «СММ-2000» предназначен и для научных исследований, и для учебных целей, сочетая в себе надёжность и наглядность работы с высочайшими техническими характеристиками.

Также в центр коллективного пользования включены ускорители частиц:

Тяжело Ионный Прототип ТИПр-1

Линейный Ускоритель Протонов И-2